適用製品
膜型表面応力センサーを用いた水素センサー
目的
水素吸蔵材料の感応膜が水素を吸蔵・放出する際の膨張・収縮によりセンサー本体表面に生起される表面応力を検出する形式の水素センサーにおいて、従来技術よりも薄くした感応膜を使用して高い水素検出感度を発揮する水素センサー及びそのようなセンサーを使用した水素検出方法を提供する。
効果
センサー本体として膜型表面応力センサーを使用することにより、水素吸蔵材料でできた感応膜の厚さが３０ｎｍ以下であっても従来のカンチレバー型水素センサーを上回る検出感度を実現することができるようになる。
技術概要
膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として膜厚が３０ｎｍ以下の水素吸蔵材料の膜を設けた水素センサー。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
