適用製品
ナノおよびマイクロ電子機械システムデバイス
目的
単結晶ダイヤモンドが有している優れた特性を活かして、極めて高い品質因子を有し、かつ高温化でも性能低下が少ないダイヤモンド構造体およびその製造方法を提供する。
効果
弾性損失、熱弾性損失が極めて少なく、６００℃というような高温下でも性能の低下が少なく、５００，０００以上という極めて優れた品質因子をもつＭＥＭＳ／ＮＥＭＳカンチレバーおよび機械共振子および機械共振子とそれらの製造方法を提供することが可能になる。
技術概要
単結晶ダイヤモンド層上に支持部を介してダイヤモンドの梁が形成されたダイヤモンド構造体において、
前記梁は表面欠陥層と本体層からなり、
前記表面欠陥層はダイヤモンドライクカーボンからなり、
前記表面欠陥層の厚さは前記本体層の厚さに対して２％以下であり、
前記本体層は単結晶ダイヤモンドからなる、ダイヤモンド構造体。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
