目的
結晶構造を有する試料の結晶格子面方向分布を５０μｍというような高い空間分解能をもち、かつ高速に測定する方法を提供する。
効果
結晶構造を有する試料の結晶格子面方向分布を５０μｍ以下の分解能で、かつ高速に測定する方法を提供することが可能になる。
技術概要
結晶構造を有する試料の結晶格子面方向分布を測定する結晶格子面方向分布測定方法において、
平行な光速を有する指向性のＸ線を、前記試料の結晶軸の方向に沿った２以上の方位から前記２以上の方位毎に、入射角を複数変えて前記試料の面内各部に照射するＸ線照射工程と、
前記試料からの前記Ｘ線のブラッグ反射光を前記面内各部に対応して検出して、前記２以上の方位毎にブラッグ反射光強度を前記面内各部に対応して測定するブラッグ反射光強度測定工程と、
ブラッグ反射光の反射強度を極大にする入射角度を、前記２以上の方位および前記面内各部毎に求める入射角度算出工程と、
前記２以上の方位および前記面内各部毎に求めた入射角度から、前記面内各部毎の結晶格子面方向を計算する結晶格子面方向計算工程と、を有する結晶格子面方向分布測定方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
