目的
遷移金属等の金属原料を安定して供給し、かつその供給速度を広いレンジで変化することができるようにすることで、大型・高価な装置を使用することなく、遷移金属窒化物等の金属化合物の高品質の薄膜を作成できるようにするＭＢＥ方法及び装置を提供する。
効果
遷移金属窒化物のＭＢＥ法を用いた薄膜成長を行うにあたって、遷移金属の原料として高融点・低蒸気圧の物質を使用していたために引き起こされていた不安定で、かつ供給速度が遅いという原料供給の問題が改善される。
技術概要
分子線エピタキシーのための金属の原料として有機金属を供給する分子線エピタキシー方法。
基本情報
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