目的
マイクロチップ又はバイオチップ内の流路に配置され、チップ内流体を制御下に輸送又は圧送することができる流体制御デバイス、その製造方法及びその作動方法を提供する。
効果
マイクロチップ等の流路にマイクロポンプを形成することができる。マイクロポンプは、流体を付勢し、後続の分析機器等に向かう流体の連続流を形成する。このようなマイクロポンプを備えたマイクロチップ等の使用により、外部機器とマイクロチップ又はバイオチップとの間の煩雑且つ非効率的な接続を省略し、液漏れや気泡混入等の問題を解消するとともに、試料等の微量化及び分析プロセスのコスト削減を図ることができる。
技術概要
光駆動可能な可動部と、該可動部を回転可能に支持する固定部とを含む微小構造体を光重合性樹脂の光造形によって造形する微小構造体の製造方法において、
前記可動部及び前記固定部の相対位置に関し、可動部作動時の作動位置と、光造形時の造形位置とが予め設定され、
第1固定部及び第1可動部は、造形後に第1可動部が第1固定部の案内によって前記作動位置に移動可能であるように、前記造形位置において光造形法で造形され、
前記第1可動部と近接又は係合する第2可動部と、第2可動部を回転可能に支持する第2固定部とが、第1固定部及び第1可動部と実質的に同時に光造形法で造形されることを特徴とする微小構造体の製造方法。