目的
計測対象物体の形状を高速かつ高精度、さらには広い計測範囲で計測することができる装置および方法を提案する。
効果
複数の光源と格子基板とを有する格子パターン投影部において、複数の光源を格子基板からの距離が異なる複数の位置の各々に少なくとも１つ配置するように構成したため、計測対象物体の形状を高速かつ高精度、さらには広い計測範囲で計測することができる。
技術概要
計測対象物体の形状を計測する装置であって、
前記計測対象物体に所定の形状の格子パターンを投影するための投影用光を発光する複数の光源と、前記投影用光を通過させて前記格子パターンを形成する格子基板とを有する格子パターン投影部と、
前記格子パターンが投影された前記計測対象物体を撮影する撮影部と、
撮影された前記計測対象物体の画像に対して位相解析処理を施して前記計測対象物体の形状を求める解析部と、
を備え、
前記複数の光源は、前記格子基板からの距離が異なる複数の位置の各々に少なくとも１つ配置されていることを特徴とする形状計測装置。
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