目的
3次元量子構造の形態が変化する場合において、変化した3次元量子構造の評価がその場で行えるようにする。
効果
変化度パラメータと3次元量子構造の形態に依存する値との相関情報に基づいて、変化度パラメータから、3次元量子構造の形態に依存する値を求めることを含むことができる。
技術概要
3次元量子構造の形態が変化する状況において前記3次元量子構造に波動性ビームを照射して、前記3次元量子構造による回折強度を測定し、
前記回折強度の変化の度合いに関する変化度パラメータを求め、
前記変化度パラメータと前記3次元量子構造の形態に依存する値との相関情報に基づいて、前記変化度パラメータから、前記3次元量子構造の形態に依存する値を求める
ことを含む3次元量子構造の評価方法。