適用製品
ガス検出装置、ガス検出方法、及び光学部品
目的
吸収スペクトルにおいて吸収ピークを呈するターゲットガスが供給される空間と、少なくとも吸収ピークに属する波長の光を生成可能である光源と、光源から放射されて空間を伝播した光を検出可能である光検出部と、を備えるガス検出装置であって、吸収スペクトルの吸収ピークに対して透過スペクトルの透過ピークが波長軸上で重畳するように複数の光学的開口が規則的に配置された導電性薄膜を更に備え、当該導電性薄膜が、光源から光検出部に至る光路上に設けられ、かつ空間内のターゲットガスに接触可能に設けられる。
効果
装置内の光路長に特に依存する事無く十分なガス検出感度を確保可能になる。
技術概要
吸収スペクトルにおいて吸収ピークを呈するターゲットガスが供給される空間と、
少なくとも前記吸収ピークに属する波長の光を生成可能である光源と、
前記光源から放射されて前記空間を伝播した光を検出可能である光検出部と、を備えるガス検出装置であって、
前記吸収スペクトルの前記吸収ピークに対して透過スペクトルの透過ピークが波長軸上で重畳するように複数の光学的開口が規則的に配置され、前記光源からの光を受けて表面プラズモンポラリトンが励起されて前記光学的開口の間隔に応じた前記透過ピークの光を透過する導電性薄膜と、
前記光源から放射された光の前記空間への伝播を中継する、若しくは前記光源から放射されて前記空間を伝播した光の前記光検出部への伝播を中継する窓材を更に備え、
前記導電性薄膜が、少なくとも前記光源から前記光検出部に至る光路上の前記窓材上に設けられ、かつ前記空間内の前記ターゲットガスに接触可能に設けられる、ガス検出装置。
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