適用製品
グローコロナを安定的に発生させることができ、各種試料表面の処理を自在に行うことができる放電加工装置及び表面処理方法
目的
各種資料の表面を微小に加工するに際してグローコロナを安定的に発生させて、加工対象試料と相互作用をさせてもコロナ放電を安定的に行うことができ、各種資料の表面を微小に加工することが可能な放電加工装置及び表面処理方法を提供する。
効果
各種資料の表面を微小に加工するに際してグローコロナを安定的に発生させて、加工対象試料と相互作用をさせてもコロナ放電を安定的に行うことができ、各種資料の表面を微小に加工することが可能である。
技術概要
中央に開口部を有する板状電極と、
電源に連結され、先端から放電可能に形成され且つ上記円形電極における上記開口部の中心に先端が位置する棒状電極と、
上記棒状電極の上記先端の近傍に位置し、加工対象試料を微細に位置決め可能に保持する試料保持部とを具備することを特徴とする放電加工装置。