適用製品
炭素を含むシリコン結晶中の炭素濃度を測定する炭素濃度測定方法及び炭素濃度測定装置
目的
高温の測定で、短時間かつ高精度に炭素濃度を測定することを可能とする、炭素を含むシリコン結晶中の炭素濃度を測定する炭素濃度測定方法及び炭素濃度測定装置を提供する。
効果
短時間かつ高精度にシリコン結晶中の炭素濃度を測定することができる。また、炭素濃度の測定感度の向上も図れる。
一括測定ができなかった従来技術よりも短時間にシリコン結晶中の炭素濃度の測定できる。
技術概要
炭素を含むシリコン結晶中の炭素濃度を測定する炭素濃度測定方法であって、
（Ａ）格子位置の前記炭素の原子を格子間位置に変位処理されたシリコン結晶を６３Ｋ〜１００Ｋの温度範囲に冷却するステップと、
（Ｂ）前記ステップ（Ａ）の後に、前記シリコン結晶にキャリアを励起するステップと、
（Ｃ）前記ステップ（Ｂ）でキャリアを励起した前記シリコン結晶の発光スペクトルに含まれる複数の波長の発光強度を測定するステップと、
（Ｄ）前記ステップ（Ｃ）で測定した複数の波長から選択した特定波長の発光強度又はその特定波長を含む発光ピークの積分強度に基づき、前記シリコン結晶中の炭素濃度を算出するステップと、
を備えることを特徴とする炭素濃度測定方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
