適用製品
使用済みのスラリーから、研磨屑（加工屑）や使用済みの砥粒を分離して未使用の砥粒を再利用することができる砥粒の回収方法、及び回収装置
目的
使用後のスラリーから、研磨に悪影響を与える研磨屑を分離し、未使用の砥粒を回収して新たな研磨に再利用することができる砥粒の回収方法及び回収装置を提案する。
効果
研磨屑と砥粒を含有する使用済みの研磨スラリーに遠心力を作用させつつ、回転させる径方向の外側により強く働く電界による吸引力を用いて研磨屑を分離するものであって、電界研磨において被研磨物に傷を与える虞がある研磨屑を除いて砥粒を回収でき、繰り返して電界研磨に使用することができるものであり、その経済的効果は極めて大きいものである。例えばフルイを用いた分離法などに比べて極めて優れた処理能力を有するものである。
技術概要
研磨屑と砥粒を含有する使用済みの研磨スラリーを分離筒に収容した状態で、軸を中心に回転させて径方向に遠心力を作用させつつ、軸方向の上下に電極を臨ませると共に径方向の内側より外側での配設間隔を狭めた状態で電界を作用させる処理を施すことにより、径方向の内側に設けた排出口から研磨屑や使用済み砥粒と研磨屑の結合物を分離し、径方向の外側に設けた回収口から砥粒を回収することを特徴とする砥粒の回収方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
