適用製品
走査型プローブ顕微鏡及び走査型プローブ顕微鏡の制御方法
目的
連続撮影モードにおいて、従来よりも短い測定時間で画像化を繰り返すことが可能な走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法を提供する。
効果
連続撮影モードにおいて、従来よりも短い測定時間で画像化を繰り返すことが可能な走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法が提供される。
技術概要
プローブと、
試料に対して相対的に前記プローブを２次元的に走査するＸＹスキャナと、
前記ＸＹスキャナによる走査面と直交するＺ軸方向に前記プローブを駆動するＺスキャナと、
前記ＸＹスキャナ及び前記Ｚスキャナを制御することによって前記試料の表面における立体形状を画像化する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記画像化を繰り返す連続撮影モードにおいて、過去の画像化で得られた画像に基づいて、次の画像化のための前記プローブの走査及び前記プローブのＺ軸方向の駆動の少なくとも一方に関する走査条件を決定し、決定した走査条件に従って前記ＸＹスキャナ及び前記Ｚスキャナを制御することで次の画像化を行うことを繰り返す
走査型プローブ顕微鏡。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
