目的
回折環の撮像から解析までをリアルタイムに行う回折環計測装置を提供する。
効果
貫通孔をもつ第１の固体撮像素子、または、複数の第２の固体撮像素子により回折環を撮像するので、回折環の撮像から解析までをリアルタイムに行うことができる。
技術概要
回折により発生する回折環を計測する回折環計測装置であって、
計測対象物に回折する性質をもつビームを照射する照射部と、
前記計測対象物からの回折ビームにより形成される前記回折環を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された回折環を表す回折環画像を生成する画像処理部と、
前記画像処理部により生成された前記回折環画像を解析するデータ処理部と
を備え、
前記撮像部は、前記ビームが通過する貫通孔を中央部に有し、前記回折環を撮像する固体撮像素子を有し、
前記固体撮像素子は、二次元状に直交配置された複数の光電変換部を有し、
前記画像処理部は、前記固体撮像素子により撮像された画像を、直交座標から前記貫通孔を中央とする極座標に変換することにより前記回折環画像を生成し、
前記固体撮像素子は、１つの半導体基板上に複数の画素の半分ずつをそれぞれ有する２つのイメージセンサの回路を対称に備え、垂直転送パルスおよび水平転送パルスを含む駆動信号を共通化する
回折環計測装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
