目的
プラズマにより粉粒体を処理し、かつ処理効率および信頼性に優れたプラズマ処理装置を提供する。
効果
プラズマの熱による影響を抑えながら粉粒体にプラズマ処理を施すことができ、かつ処理効率および信頼性に優れたプラズマ処理装置が得られる。
技術概要
誘電体で構成され、粉粒体を保持する反応容器と、
前記反応容器に設けられた第１電極および第２電極と、
前記反応容器の内面に沿って前記内面との間に空隙を保って回転可能な導電性の攪拌羽根と、
前記攪拌羽根を回転させるモーターと、
前記第１電極と前記第２電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と、
を備えるプラズマ処理装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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