適用製品
光を走査させ加工を行うレーザ加工装置及びレーザ加工方法
目的
１つの光学部材の動作により光偏向角が容易に制御可能であり、しかも構造が簡便であり、精度低下の原因となるモータの発熱による光学部材の温度上昇が抑制可能となる光走査装置及び光走査方法を提供する。
効果
簡便な装置構成により、レーザ光が通過する光学部材の長さを抑制可能、精度低下の原因となるモータの発熱による光学部材の温度上昇が抑制可能、かつ光偏向角を常時外部から制御することが可能である。また、本発明は共振型の光走査装置であるため、高速回動時においても光偏向角の大きい走査が可能となる。
技術概要
光を透過する光学部材の動作により光を走査する光走査装置であって、前記光学部材と揺動側磁性体が一体となって外力、復元力の作用により揺動する揺動体と、前記揺動体に外力が働かず復元力のみ働く状態における揺動体の静止位置である基準位置を基点として前記揺動体を揺動可能に保持する保持機構及び前記揺動体が基準位置からずれた場合に前記基準位置に復元する復元機構を有する保持手段と、前記基準位置を基点として揺動体を揺動させるため、前記揺動側磁性体の磁力に常に干渉し揺動側磁性体と一定距離を保つように保持された状態で、前記揺動体に外力として作用する磁場を前記光学部材の光軸を軸として公転するよう回動させる回動側磁性体を有した動作手段とを少なくとも備えていることを特徴とする光走査装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
