適用製品
大気圧低周波プラズマジェットを生成可能な大気圧プラズマ生成装置
目的
ガス種に依存せず確実に且つ安定的にプラズマを生成可能な大気圧プラズマ生成装置を提供する。
効果
ガス種に依存せず確実に且つ安定的にプラズマを生成可能である。
技術概要
大気圧下でプラズマを生成させる大気圧プラズマ生成装置であって、該大気圧プラズマ生成装置は、
動作ガスを予備電離する予備電離部であって、予備電離部は、
動作ガスが供給される入力細管と、
前記入力細管に接続され、平行な対向平面を少なくとも有する電離室と、
前記電離室の対向平面を挟むように対向平面に平行に配置され、予備放電用電源から電圧が印加される平行平板からなり、動作ガスを電離又は励起するための予備放電用電極と、
前記電離室に接続される出力細管と、
を有する予備電離部と、
前記予備電離部により電離又は励起される気体を種としてプラズマを生成させるプラズマ生成部であって、プラズマ生成部は、
前記予備電離部の出力細管に接続される円筒管と、
前記円筒管に対して交流高電圧を印加するためにプラズマ生成用電源から電圧が印加されるプラズマ生成用電極と、
を有するプラズマ生成部と、
を具備することを特徴とする大気圧プラズマ生成装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
