目的
コンパクトであっても，イオンポンプとゲッターポンプとを併用できる真空作成装置を提供する。
効果
コンパクトであっても，イオンポンプとゲッターポンプとを併用できる真空作成装置が提供できかつ中空空間を確保できることにより内部に機能性ユニットを配置する事が可能である。
技術概要
円筒状のケーシング（１）と，
前記円筒状のケーシング（１）の円筒部分の外側から前記円筒状のケーシングを加熱するためのヒータ（３）を取り付けるためのヒータ取り付け部（５）と，
前記円筒状のケーシング（１）の内壁と接触し，前記ヒータ（３）からの熱が伝わるゲッターエレメント（９）とを含む，
真空作成装置（１１）。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
