適用製品
ターゲットの損耗が交換タイミングに達したときにスパッタリングを停止させるターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法
目的
ターゲットの損耗が交換タイミングに達したことを容易かつ迅速に低コストで判定し、スパッタリングを停止させるためのターゲット損耗検出機構を提供する。
効果
ターゲットの損耗が交換タイミングに達したことを容易かつ迅速に低コストで判定し、スパッタリングを停止させることにより、成膜品質の劣化を防止するとともに、スパッタ装置への損傷を防止することができる。
技術概要
ターゲット損耗検出機構は、チャンバ内に載置された基板と、基板に対してスパッタリングにより薄膜を形成するための材料からなるターゲットと、ターゲットの裏面に接してターゲットをチャンバ内に支持するとともに冷却するためのバックプレートと、ターゲットの裏面を検出すべくバックプレート側に取り付けられた光検出手段と、を有し、ターゲットは、スパッタリングを停止させるエロージョン領域の深さ位置まで、裏面側から外周側に出ない範囲で予め切削された背面溝が形成され、光検出手段は、背面溝が形成された範囲内に配置され、スパッタリングによってターゲットのエロージョン領域が背面溝に達することで貫通した損耗孔を通過するプラズマ光の有無を検出する。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
