適用製品
新規な含フッ素環状有機化合物とその製造方法並びに含フッ素環状有機化合物からなる相間移動触媒、金属イオン捕捉剤、電解質形成材料、造影剤及び液浸露光プロセス用液体
目的
フッ素化(フルオラス)溶媒に対する溶解性が高く、金属イオンの補足性に優れ、且つ、捕捉する金属イオンの種類及びサイズに応じて多様な分子構造の設計を容易に行うことによって、適用範囲を大幅に拡大できる新規な含フッ素環状有機化合物とその製造方法並びに前記含フッ素環状有機化合物からなる相間移動触媒、金属イオン捕捉剤、電解質形成材料、造影剤及び液浸露光プロセス用液体を提供する。
効果
従来よりも機能性に優れ、高性能を有する新規なフッ素系化合物の合成が可能になる。また、本発明の含フッ素環状有機化合物を、金属イオンの捕捉剤や検出試薬、電解質形成材料、造影剤又は高集積半導体装置の製造における液浸露光プロセス用液体として適用することにより、それらの用途において従来のクラウンエーテルでは実現できなかった新機能の付与や特性又は性能の向上を図ることができる。
技術概要
下記式(1)で表される含フッ素環状有機化合物。
【化1】
式中、R↓11、R↓12、R↓21、R↓22、R↓31、R↓32、R↓41、R↓42は、それぞれ独立に水素原子、フッ素原子、臭素原子又は塩素原子を示し、R↓11、R↓12、R↓21、R↓22、R↓31、R↓32、R↓41、R↓42の少なくとも一つがフッ素原子である。a、b、c、dは0又は1の整数であり、a+b+c+d=2〜4の何れかの整数である。mは1〜4の何れかの整数であり、nは2〜20の何れかの整数である。Xは、酸素原子、イミノ基(NH)又は硫黄原子を示す。