適用製品
銅及び銅の酸化物を用いて構成される太陽電池の製造方法、この太陽電池の構造
目的
Ｃｕ↓２Ｏを用いた高い変換効率の太陽電池を安価に得ることは困難であった。上記問題点を解決する発明を提供する。
効果
Ｃｕ↓２Ｏを用いた高い変換効率の太陽電池を安価に得ることができる。
技術概要
銅層の表面に亜酸化銅（Ｃｕ↓２Ｏ）を含む酸化銅層が形成された構造を具備する太陽電池の製造方法であって、
減圧下の雰囲気で正バイアスが印加された前記銅層の表面に酸素プラズマを照射し、プラズマ加熱によって前記銅層の温度を３５０℃以上として前記銅層の表面側の一部を酸化して前記酸化銅層を形成する酸化工程と、
前記酸化工程の後で、前記酸素プラズマの照射を停止し、前記銅層の温度を４５℃以下まで冷却する第１冷却工程と、
前記第１冷却工程の後で、減圧下の雰囲気で前記酸化銅層に水素プラズマを照射する還元工程と、
を具備することを特徴とする太陽電池の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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