適用製品
双極型静電チャックモジュールおよびその製造方法
目的
吸着面に微細毛構造を有し、プラスチックシートなどの薄膜誘電体に対応し得る双極型静電チャックを提供することを目的とする。
効果
各モジュールが微細毛を有しているため，静電吸着面に柔軟性を確保することが可能であり、従来円滑にハンドリングできない（吸着できてもうまく離脱できなかったり，吸着時に対象に損傷を与えたりする）ものを自由自在に吸着・離脱可能にすることができる。
技術概要
吸着対象物を吸着するための静電チャック吸着面に微細毛構造を有し、吸着面の微細毛の先端部分には正極および負極間に絶縁層が配置され、正極と負極間に電圧を印加することにより静電力が生じ、静電チャック吸着面に吸着対象物が吸着されるように構成してなる双極型静電チャックモジュール。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
