目的
微小なサンプルから放出される超微小量のガスであっても高感度に検出可能な高感度昇温脱離ガス分析装置を提供する。
効果
微小なサンプルから放出される超微小量のガスであっても高感度に検出可能である。
技術概要
サンプルから放出される超微小量のガスを検出可能な高感度昇温脱離ガス分析装置であって、該高感度昇温脱離ガス分析装置は、
ガス含有量の低い超低ガス放出処理済材料からなる真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に配置され、超低ガス放出処理済材料からなり、サンプルの置かれるサンプル台と、
前記真空チャンバの外部からサンプル台に置かれるサンプルを非接触で加熱するための加熱手段と、
前記真空チャンバに接続され、超低ガス放出処理済材料からなり、サンプルから脱離するガスを測定するための検出部と、
前記真空チャンバ内を真空状態とするために真空チャンバに接続され、複数のポンプを直列接続することでガス圧縮率を高めるように構成されるタンデム型ポンプと、
前記タンデム型ポンプと検出部との間に配置され、排気速度を小さくすると共に検出部側へのガスの戻りを抑制するためのオリフィスと、
を具備することを特徴とする高感度昇温脱離ガス分析装置。
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