目的
ほぼ同一粒径の金属化合物微粒子が、マトリックスである異種金属化合物相の中に規則的に配列充填された三次元構造を有する複合微細構造体を、簡単に製造することのできる方法を見出して、フォトニック結晶や様々な用途への適用が可能な複合微細構造体の提供。
効果
ある金属化合物の連続相の中に、略同一粒径の異種の金属化合物微粒子が三次元的に規則正しく配列する構造の複合微細構造体が得られる。気相法やリソグラフィ技術を用いずに、所望のサイズの複合微細構造体を容易に製造することができるため、今後、フォトニック結晶を工業的に製造する際や、他の用途に展開する場合においても、極めて工業的に有用な製造方法である。
技術概要
Ti,Zr,V,Nb,Ta,Mo,W,Fe,Ni,Zn,In,Si,SnおよびSbよりなる群から選択される第1の金属元素とOとの化合物である第1の金属酸化物層の内部に、前記群から選択され、第1の金属元素とは異なる第2の金属元素とOとの化合物である第2の金属酸化物からなる同一粒径の微粒子が最密充填されており、前記第1の金属酸化物層と、前記第2の金属酸化物からなる微粒子が、いずれもLPD法により形成されていることを特徴とする複合微細構造体。