適用製品
局在表面プラズモン共鳴現象を利用した化学センサ
目的
金属微細構造を持つ局在プラズモン共鳴センサにおいて、リソグラフィ法による製造上必要不可欠な、誘電体基板と金属微細構造の間に挿入される導電層または密着層としての金属層を除去することなく、且つ複雑、高価な製造工程を必要とすることのない、良好な特性を持つセンサを提供する。
効果
金属微細構造を持つ局在プラズモン共鳴センサであって、誘電体基板と金属微細構造の間に設けられた導電層または密着層が誘電体化処理により誘電体層とされている、ことを特徴とする局在プラズモン共鳴センサを提供する。
技術概要
金属微細構造を持つ局在プラズモン共鳴センサであって、
誘電体基板上に密着層として金属層が設けられ、該金属層上にナノホール、ナノドット、またはナノディスクである金属微細構造が設けられており、
前記誘電体基板と前記金属微細構造の間には前記金属層が酸化処理されることにより変化した酸化誘電体層が設けられる、ことを特徴とする局在プラズモン共鳴センサ。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
