目的
熱応力を抑制することができるマイクロヒータを提供する。
効果
マイクロヒータは、熱変化によって生じる変形を拘束しないように配線を片持ち梁構造としたので、熱応力を抑制することができる。
技術概要
溝が形成された基板と、
前記基板上に配置された複数のヒータ配線部と
を備え、
前記ヒータ配線部は、互いに平行になるように所定の間隔を空けて配置された一対の配線と、一対の前記配線の一端同士を接続する折り返し部と、前記配線の他端に形成され、隣り合う前記ヒータ配線部同士を接続する接続部とを有し、
前記折り返し部は、前記接続部に比べ線幅が狭く形成されており、
前記基板には、前記接続部を支持し得る支持部が形成されており、
前記ヒータ配線部は、前記折り返し部を自由端とする片持ち梁構造を有し、
前記配線と前記折り返し部は、前記溝を画定する前記基板表面との間に隙間を形成し得るように空中に配置されている
ことを特徴とするマイクロヒータ。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
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