適用製品
局在表面プラズモン共鳴現象を利用するセンサ、ガスセンサ及び製造方法
目的
LSPRを用いた局在表面プラズモン共鳴センサの光学配置に起因する信号変動の回避を図り、広範囲なVOC濃度を適切に計測することができるセンサを提供する。
効果
リソグラフィ技術やナノインプリント技術を用いることで、金属ナノ粒子の粒子径および粒子間隔を均一にすることが可能となる。この結果、金属ナノ粒子により生じる散乱光の光量変化を検出するための急峻なLSPR特性を得ることができる。
技術概要
光透過性基板と、
前記光透過性基板上に設けられる、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる金属微細構造と、
前記金属微細構造を覆う多孔質光透過性吸着材と、
前記光透過性基板の前記多孔質光透過性吸着材とは異なる側に設けられる光源と、
前記光透過性基板の前記異なる側に設けられる、前記光源からの出射光が前記金属微細構造により後方散乱した散乱光を受光する受光器と、
を備える、局在表面プラズモン共鳴センサ。