目的
容易に実装可能で、一体化したガス電子増幅モジュールを提供する。
効果
放射線検出器等に容易に実装可能であり、一体化している。
技術概要
カソード電極と、
前記カソード電極に対向する読出し電極と、
前記カソード電極と前記読出し電極の間に配設され、前記カソード電極と前記読出し電極とを結ぶ方向に貫通する複数の貫通孔を有し、無機材料により構成された絶縁層と前記絶縁層の両面に形成された導電層とからなるガス電子増幅器用電極と、
前記カソード電極、前記読出し電極及び前記ガス電子増幅器用電極を囲むチャンバーと、
前記チャンバーの外部と、前記カソード電極、前記読出し電極及び前記ガス電子増幅器用電極と、を電気的に接続する接続端子と、を備え、
前記チャンバーは封止され、内部に電離ガスが封入されている、ガス電子増幅モジュール。
基本情報
開放特許情報
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