目的
結露の発生を防止し、より適切な測定をすることができる熱伝導式センサを提供する。
効果
本発明の熱伝導式センサは、センサ本体内部において、気体を加熱する第１発熱手段、センサ内部を加熱する第２発熱手段及び第３発熱手段を備えるので、熱伝導式センサ内部での結露の発生を防止し、より適切な測定をすることができる。
技術概要
センサ本体と、
前記センサ本体の一端に気体入口と、
前記一端に対向した他端に気体出口と、
前記気体入口から前記センサ本体内部を通って前記気体出口へ繋ぐ気体流路と
を備えるフローセル型の熱伝導式センサであって、
前記センサ本体から熱的に分離された状態で、前記気体流路の、前記気体入口側に第１熱伝導式センサ素子と、前記気体出口側に第２熱伝導式センサ素子と、前記第１熱伝導式センサ素子及び前記第２熱伝導式センサ素子の間に第１発熱手段と、
前記センサ本体内の下部を加熱する第２発熱手段と、
前記センサ本体内の上部を加熱する第３発熱手段と
を備えることを特徴とする熱伝導式センサ。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
