目的
被処理物に与える熱的ダメージを抑制するとともに、被処理物に与える熱的ダメージを抑制するとともに、より高速に熱プラズマによる表面処理を行う表面処理方法を提供する。
効果
被処理物に与える熱的ダメージを抑制するとともに、より高速に熱プラズマによる表面処理を行うことができる。
技術概要
熱プラズマによって試料の表面処理を行うための表面処理方法であって、
コイルに第一の振幅を有する交流電流を流すことによって第一の磁界を前記熱プラズマに印加する第一印加ステップと、
前記コイルに前記第一の振幅とは異なる第二の振幅を有する交流電流を流すことによって第二の磁界を前記熱プラズマに印加する第二印加ステップと、
前記熱プラズマの発光スペクトルを計測する計測ステップとを含み、
前記熱プラズマ中に配置された前記試料の表面温度を所定範囲内に維持し、かつ、前記計測ステップで計測される前記熱プラズマの発光スペクトルに含まれる第一の波長成分の強さが、当該第一印加ステップと、当該第二印加ステップとでは、所定値以上異なるように、当該第一印加ステップと当該第二印加ステップとが繰り返される
表面処理方法。
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