目的
以下の目的を達成しようとするものである。
１．研磨試料でのダレ防止。
２．硬度差による領域ごとの研磨不均等防止。
３．研磨試料の貼りつき防止。
４．研磨試料面での傷発生防止。
５．研磨フィルムの破損防止。
６．研磨試料の大きさによる対応可能性実現。
７．作業者の熟練度に因らない研磨試料作成実現。
効果
研磨試料でのダレ発生を防止し、研磨試料の研磨面に有する硬度差による領域ごとの研磨不均等の発生を防止し、研磨試料の研磨フィルムへの貼りつき発生を防止し、削り屑に起因する研磨試料面での傷発生を防止し、貼りつきや他の原因による研磨フィルムの破損を防止し、研磨試料の大きさによる対応可能性を実現し、作業者の熟練度に因らない研磨試料作成実現することができるという効果を奏することが可能となる。
技術概要
研磨試料面に対して平面性の高い研磨をするための柔軟な研磨フィルムを用いた仕上研磨用定盤において、
前記柔軟な研磨フィルムを搭載する平面形状の板体からなる定盤の研磨面には、複数の島状の島状凸部と該島状凸部の間に連続した溝状となる溝状凹部とが設けられることを特徴とする仕上研磨用定盤。
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