炭化珪素（ＳｉＣ）の成膜装置の部材のクリーニング

開放特許情報番号：L2019000499 開放特許情報登録日：2019/4/19 最新更新日：2026/6/30

基本情報

出願番号

公開番号

登録番号

出願日

2012/5/29

公開日

2013/12/9

出願人

日本酸素ホールディングス株式会社

特許権者

日本酸素株式会社

権利化状況

権利化済

発明の名称

炭化珪素除去方法

開放特許情報

技術分野

電気・電子化学・薬品

機能

洗浄・除去

適用製品

炭化珪素（ＳｉＣ）の成膜装置の部材のクリーニング技術

目的

炭化珪素の成膜装置の部材のクリーニングを行う。

効果

炭化珪素の成膜装置の部材について、できるだけ損傷させず、付着物を除去することができる。

技術概要

図のように、プラズマの供給と不活性ガスの吹き付けを交互に行い、付着物を除去する。それと同時に、排出ガスの経路に設けた分析装置で測定を行う。排出ガスに含まれる特定のガスの濃度が所定の閾値以下になった時、プラズマの供給と不活性ガスの吹き付けを終了する。

イメージ図

実施実績　　　：

無

許諾実績　：

無

特許権譲渡　　：

否

特許権実施許諾：

可

登録者情報

登録者名称

その他の情報