目的
大面積で高密度のチャンバーアレイを簡便に製造することができるチャンバーアレイの製造方法を提供すること。
効果
大面積で高密度のチャンバーアレイを簡便に製造することができるチャンバーアレイの製造方法を提供することができる。
技術概要
樹脂に複数のチャンバーが形成されたチャンバーアレイの製造方法であって、
基板上に複数のビーズを配置するビーズ配置工程と、
前記基板および前記複数のビーズ上に液状の前記樹脂を配置し、硬化させるコンタクトインプリンティング工程と、
硬化後の前記樹脂を前記基板から剥離する剥離工程と、
前記基板から剥離した前記樹脂から前記複数のビーズを除去する除去工程とを含む
チャンバーアレイの製造方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
