機能
機械・部品の製造
制御・ソフトウェア
検査・検出
適用製品
イオン濃度測定装置及びイオン濃度測定方法
目的
ノイズの影響を抑制し、計測対象物に含まれたイオン濃度を直接に測定できるイオン濃度測定装置及びイオン濃度測定方法を提供すること。
効果
ノイズの影響を抑制し、計測対象物に含まれたイオン濃度を直接に測定できるイオン濃度測定装置及びイオン濃度測定方法が提供される。
技術概要
計測対象物に正の電圧と負の電圧とを交互に提供する第1の電極部と、
前記電圧を発生させる電圧発生部と、
前記計測対象物に提供される電圧に対応して選択的に捕捉されるイオンに基づく電流を発生させるセンサ部と、
前記電圧発生部を制御すると共に、前記センサ部から出力される電流に基づいて、前記計測対象物に存在する前記イオンの濃度を得る制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記計測対象物へ前記正の電圧が提供されたときに前記センサ部が発生する第1の電流値と、前記計測対象物へ前記負の電圧が提供されたときに前記センサ部が発生する第2の電流値と、を得る電流値取得部と、
前記第1の電流値と前記第2の電流値との差分を得る差分取得部と、
前記差分に基づいて前記イオンの濃度を得る濃度取得部と、を有する、イオン濃度測定装置。