適用製品
アモルファスカーボンナノ粒子の製造方法、プラズマＣＶＤ装置及びアモルファスカーボンナノ粒子
目的
アモルファスカーボンナノ粒子を得ることができる製造方法及びアモルファスカーボンナノ粒子を提供すること。
また、半導体性及び／又は増大された光学バンドギャップを有するアモルファスカーボンナノ粒子を得ることができる製造方法及びこれらの特性を有するアモルファスカーボンナノ粒子を提供すること。
効果
アモルファスカーボンナノ粒子を製造することができ、また半導体性を有するアモルファスカーボンナノ粒子や、光学バンドギャップの大きなアモルファスカーボンナノ粒子を製造することができるので、光触媒、受光素子、各種太陽電池、コンデンサー等に好適な材料を提供できる。
技術概要
高周波電力を供給するための第１の電極と、接地された第２の電極が対向するように配置され、前記両電極の間に、貫通孔を有する有孔板が、前記貫通孔の開口部が形成された一方の面が第１の電極側を他方の面が第２の電極側を向くように配置された容器内に、炭素を含む気体原料を導入し、前記両電極間にプラズマを形成して、前記気体原料を分解することによりアモルファスカーボンナノ粒子を得ることを特徴とするアモルファスカーボンナノ粒子の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
