機能
機械・部品の製造
制御・ソフトウェア
検査・検出
目的
安価で、外乱が生じた場合であっても正しい高分解能画像を安定して得ることが可能な観察システムを提供すること。
効果
安価なシステムによって、外乱が生じた場合であっても正しい高分解能画像を安定して得ることができる。
技術概要
所定範囲のコヒーレント長を有する光源と、
第１の光路長を有し、前記光源から発せられる光の一部である第１の光を前記光源から観察対象物へ導く第１の光路と、
第２の光路長を有し、前記光の残部である第２の光を前記光源から前記観察対象物へ導く第２の光路と、
前記第１の光及び前記第２の光を干渉させて前記観察対象物上に第１の干渉縞を生成させる干渉縞生成部と、
前記第１の光の内の前記観察対象物によって反射された第１の反射光と、前記第２の光の内の前記観察対象物によって反射された第２の反射光との干渉によって生成される第２の干渉縞の光強度分布を測定する測定部と、
前記測定部に接続された演算部と、
を備え、
前記演算部は、
前記第２の干渉縞における前記光強度分布の変位量に基づいて前記第１の干渉縞における位相のシフト量を算出する、
観察システム。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
