適用製品
ガスセンサ用デバイス、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システム
目的
ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜にＣｕＢｒを用いる場合に、ＣｕＢｒ膜が劣化しない構造を提供する。
効果
本ガスセンサ用デバイス、ガスセンサデバイス及びその製造方法、情報処理システムによれば、ガスセンサに備えられるガスセンサデバイスの感応膜にＣｕＢｒを用いる場合に、ＣｕＢｒ膜が劣化しないようにすることができる。
技術概要
第１ＣｕＢｒ膜と、前記第１ＣｕＢｒ膜を覆うＣｕ膜とを備える積層膜と、
前記積層膜を介して電気的に接続される２つの電極とを備えることを特徴とするガスセンサ用デバイス。
アピール内容
【SDGs目標】 3.すべての人に健康と福祉を, 11.住み続けられるまちづくりを
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
