目的
電位差に基づいてガスを検知するガスセンサでは、良好な感度を得ることは困難である。 そこで、消費電力が小さく、良好な感度が得られるガスセンサを実現したい。
効果
本ガスセンサ及びセンサ装置によれば、消費電力を小さくし、良好な感度が得られるようにすることができる。
技術概要
銅又は銀を含み、検知対象ガスと接触するｐ型半導体層と、 前記ｐ型半導体層に対してショットキ電極となる第１電極と、 前記ｐ型半導体層と前記第１電極との間に部分的に前記ｐ型半導体層と前記第１電極とが接するように設けられ、前記ｐ型半導体層及び前記第１電極よりも高い抵抗を有する高抵抗層と、 前記ｐ型半導体層に対してオーミック電極となる第２電極とを備えることを特徴とするガスセンサ。
アピール内容
ファミリ：中国_, 米国_15/682867, 【SDGs目標】 3.すべての人に健康と福祉を, 11.住み続けられるまちづくりを
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