目的
１０↑（−１０）Ｔｏｒｒ以下の超高真空中、７．２Ｋ未満に冷却可能であり、その環境で、装置外からイオンビームを試料の表面に照射し、前記表面からの反射ビームを装置外で測定可能であり、かつ、真空を破らず、試料交換が可能である表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置を提供する。
効果
表面観測用試料冷却装置は、超高真空中、試料表面の最低到達温度を７．２Ｋ未満に冷却可能であり、その環境で、試料を電子衝撃加熱可能なフィラメントを備えることにより、試料の表面を１０００Ｋ以上に加熱して、清浄化が可能、装置外からイオン等のビームを試料の表面に照射し、表面からの反射ビームを装置外で測定可能であり、低温での熱伝導に優れ、試料の低温化を速やかに安定化させるとともに、試料を電気的に絶縁して、ビームの試料電流が測定でき、かつ、真空を破らず、試料交換が可能である。
技術概要
筒状の熱シールドと、
前記筒内に配置された伝熱棒と、
前記伝熱棒に取り付けられた高熱伝導性電気絶縁板と、
前記高熱伝導性電気絶縁板に試料ホルダー押さえ込み板により押さえ込まれた試料ホルダーと、
前記熱シールドに設けられた開閉部と、
前記開閉部に設けられた２つのビーム孔とを有し、
前記高熱伝導性電気絶縁板に孔部が設けられており、前記孔部内にフィラメントが設けられていることを特徴とする表面観測用試料冷却装置。
基本情報
開放特許情報
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