適用製品
ガスセンサデバイス、ガス測定方法及びガス測定装置
目的
ガスセンサデバイス、ガス測定方法及びガス測定装置において、高精度にガスを検知すること。
効果
一態様によれば、高精度にガスを検知することができる。
技術概要
センサ表面を有し、前記センサ表面へのガスの吸着量の増加に応じて抵抗が増加するセンサ膜と、
前記センサ膜と電気的に接続された第１の電極、第２の電極、及び第３の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間の領域で前記センサ表面を覆う保護膜と、
を備え、
前記第３の電極の近傍の領域では、前記センサ表面が露出していることを特徴とする、ガスセンサデバイス。
アピール内容
ファミリ：米国_15/381074, 【SDGs目標】 3.すべての人に健康と福祉を, 11.住み続けられるまちづくりを
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
