目的
還元性ガスおよび塩基性ガスの両方を含むガスに対して良好な選択比が得られるガス分析装置およびガス分析方法を提供する。
効果
還元性ガスおよび塩基性ガスの両方を含むガスに対して良好な選択比が得られる。
技術概要
チャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、第１の感ガス材を備える第１ガスセンサおよび第２の感ガス材を備える第２ガスセンサと、
前記第１の感ガス材および前記第２の感ガス材の各抵抗変化を検出する検出部と、を備え、
前記第１ガスセンサの感ガス材は、Ｓｎ，Ｗ，ＺｎおよびＩｎの少なくともいずれかを主材料とする酸化物半導体、またはＣを主材料とする半導体であり、
前記第２ガスセンサの感ガス材は、ＣｕもしくはＡｇのハロゲン化物または酸化物を主材料とすることを特徴とするガス分析装置。
アピール内容
ファミリ：米国_15/466384, 【SDGs目標】 3.すべての人に健康と福祉を
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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