目的
消費電力が小さく、良好な感度が得られるガスセンサを実現。
効果
本ガスセンサ及びセンサ装置によれば、消費電力を小さくし、良好な感度が得られるようにすることができる。
技術概要
銅又は銀を含み、検知対象ガスと接触するp型半導体層と、
前記p型半導体層に対してショットキ電極となる第1電極と、
前記p型半導体層と前記第1電極との間に設けられ、前記p型半導体層及び前記第1電極よりも高い抵抗を有する高抵抗層と、
前記p型半導体層に対してオーミック電極となる第2電極とを備えることを特徴とするガスセンサ。
アピール内容
ファミリ:米国_15/665803, 【SDGs目標】 3.すべての人に健康と福祉を, 11.住み続けられるまちづくりを