目的
検出対象物表面を捉えたラインセンサの撮像画像から画像解析で得られる検出対象物表面各部の変位の検出精度を高めると共に、検出対象物への取付作業性を向上させられる変位検出装置を提供する。
効果
検出対象物表面の所定範囲をラインセンサで一又は複数回撮像し、撮像画像を解析手段で画像解析して、検出対象物表面各点の変位等を求めることにより、ラインセンサをその撮像方向と一致する検出対象物表面の法線方向について動かない安定した支持状態として、検出対象物表面の撮像を適切に進められ、撮像画像の解析を正確に実行でき、変位検出の精度を高められる。
容易に本体部を支持固定状態に移行させることができ、ラインスキャナの設置に係る作業効率も大きく向上させられる。
技術概要
ラインセンサで検出対象物の表面を撮像するラインスキャナと、当該ラインスキャナで撮像した画像を解析して検出対象物の変位又はひずみを求める解析手段とを備える変位検出装置。