目的
圧電体に生じる弾性表面波を利用して、被検体の物理量を安定的に計測するセンシング装置を提供する。
効果
本発明に係るセンシング装置は、圧電体の弾性表面波の進行路の接触位置より下流側で光が反射して生じるｒ次回折光及びｓ次回折光の各強度を計測する光検出手段と、計測されたｒ次回折光及びｓ次回折光の各強度を基に弾性表面波の振幅を算出し、被検体の物理量を求める演算機とを備えるので、被検体の物理量の導出に、空間中の電磁波を受信して生成され得る電気信号を用いる必要がなく、被検体の物理量を安定的に計測することが可能である。
技術概要
圧電体に弾性表面波を発生させて、該圧電体に接触させた被検体の物理量を求めるセンシング装置において、
前記被検体の接触位置を通過する前記弾性表面波を、前記圧電体に発生させる入力電極と、
前記圧電体を進む前記弾性表面波の進行路の前記接触位置より下流側に光を照射する照射手段と、
前記進行路の前記接触位置の下流側で前記光が反射して生じるｒ次回折光及びｓ次回折光の各強度を計測する光検出手段と、
計測された前記ｒ次回折光及び前記ｓ次回折光の各強度を基に前記弾性表面波の振幅を算出し、前記被検体の物理量を求める演算機とを備えることを特徴とするセンシング装置。
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