適用製品
希土類ホウ化物エミッタの表面改質方法、表面改質希土類ホウ化物エミッタ及び表面改質装置兼電子線源装置
目的
簡易にＢ末端表面を希土類末端表面に改質できる希土類ホウ化物エミッタの表面改質方法、及び。希土類末端表面に改質され、電子放出能が向上された表面改質希土類ホウ化物エミッタ、その表面改質希土類ホウ化物エミッタを具備した表面改質装置兼電子線源装置を提供する。
効果
希土類ホウ化物エミッタの表面改質方法は、Ｂ末端表面を希土類末端表面に容易に、かつ、短時間で改質できる。
表面改質希土類ホウ化物エミッタは、電子放出能が優れたエミッタとすることができる。
表面改質装置兼電子線源装置は、電子放出能が優れた表面改質装置兼電子線源装置とすることができる。
技術概要
希土類ホウ化物エミッタの表面改質方法であって、
希土類ホウ化物からなるナノファイバーに一定時間、２００Ｖ以上の電圧を印加して、前記ナノファイバー内部から表面に希土類元素を引き出して、前記ナノファイバーの表面を希土類元素末端表面に改質することを特徴とする希土類ホウ化物エミッタの表面改質方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
