適用製品
キャビティリングダウン分光法を用いる水分濃度測定装置
目的
キャビティリングダウン分光法により、モノシランなどのシラン系ガス中の微量の水分の濃度を測定しようとすると、水の吸収波長である1392nm付近にシラン系ガスに見られる吸収があり、水分濃度を正確に測定できないという課題があった。
そこで、キャビティリングダウン分光法によって、シラン系ガス中の微量の水分の濃度を正確に計測する装置及び方法を提供する。
効果
グラフより、圧力を変化させても水分濃度（縦軸）にはほとんど影響がないことがわかる。
一方で、圧力が低下するにつれて吸収ピークの形状が急峻になることがわかるが、吸収ピークの形状が急峻となると、測定に供するレーザ光の発振波長の安定性が低いと、測定誤差が生じるやすくなる。
サンプルガスの全圧を水分濃度に影響を与えない範囲にし、測定対象ガスの分圧を調整することで、発振波長の安定性の高いものを必要とせずに、シラン系ガス中の微量の水分濃度を正確に測定できる。
技術概要
キャビティリングダウン分光法によってシラン系ガス中の水分濃度を測定する装置の測定セルに導入するサンプルガス（測定対象ガスを希釈ガスで希釈したもの）の圧力を100〜500torrとし、サンプルガス中の測定対象ガスの分圧を50torr以下として水分濃度を測定する。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
