目的
製造プロセスや使用中の高温下でＢｉ系誘電体材料中のＢｉが電極中に拡散することによる電極と誘電体との界面の熱的不安定性を防止する。
効果
本発明によれば、高温環境下でもＢｉ系誘電体材料中のＢｉが電極中に拡散せず、これにより高温に曝されることによるキャパシタ特性の劣化を防止することができる。
技術概要
Ｂｉ系誘電体材料に接触する電極にＢｉを拡散しにくい元素を含ませることで、上記問題を解消する。このような元素としては、具体的にはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、スカンジウム、イットリウム、ランタン、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、亜鉛、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、硫黄、ゲルマニウム、スズ、砒素及びアンチモンを使用できる。この構成のキャパシタは、例えば自動車用に好適に使用できる。
基本情報
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