目的
空間分解能及び電気伝導性に優れたカーボンナノチューブ探針を備えた走査型プローブ顕微鏡用プローブを提供すること、及びこれらの特性を再現性良く得ることができるプローブの製造方法を提供する。
効果
本発明の方法は、チップとＣＮＴに電流を流すことによって、ＣＮＴをチップ先端部に良好な配向で固着すると同時に切断することができ、配向及び切断のための追加の工程は不要である。驚くことに、得られるプローブでは、ＣＮＴとチップが側面同士で強固に固着され、且つ、該ＣＮＴが試料に対してほぼ垂直になるように配向されており、鮮明な表面像を得るのに最適であるだけでなく、高い信頼性で微小領域の電気特性を計測することができることが見出された。
技術概要
チップと、該チップの先端部から突出した探針を備える走査型プローブ顕微鏡用のプローブであって、
該探針がカーボンナノチューブからなり、該カーボンナノチューブは該チップ先端部から突出した突出部と、該チップに固着された固着部を備え、該固着部ではカーボンナノチューブの側面が該チップの一側面に固着されており、該固着部は該カーボンナノチューブ製造工程で使用された触媒由来の金属を含む、走査型プローブ顕微鏡用のプローブ。
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