目的
被計測粒子に非接触で粒径を計測でき、かつ、計測可能な粒径範囲の拡大が可能とされた粒径計測装置、及び粒径計測方法を提供すること。
効果
本発明によれば、計測の対象となる被計測粒子の粒径を非接触かつ２次元で計測することができる。また、複数の異なる波長の光を用いて計測することにより、計測可能な粒径範囲の拡大を図ることができる。
技術概要
複数の異なる波長の光を浮遊する被計測粒子又は被計測粒子群に照射するために射出する光源と、
被計測粒子又は被計測粒子群に前記光が照射されることによって散乱された散乱光のうち、第１の偏波面を有する散乱光からなる第１の散乱光と、前記第１の偏波面に垂直な第２の偏波面を有する散乱光からなる第２の散乱光を、前記光源から射出される光の波長を変えながら検出する散乱光検出装置と、
前記散乱光検出装置で検出された前記第１の散乱光と前記第２の散乱光との輝度を数値化し、数値化された前記第１の散乱光の輝度と前記第２の散乱光の輝度の比による偏光比を前記光源から射出される光の波長毎に算出し、波長毎に得られた複数の偏光比と予め保持している解析解とを比較することにより、前記被計測粒子又は前記被計測粒子群の粒径を算出する算出部と、
を有して構成される粒径計測装置。
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