目的
効率的に、真空中、ガス中、液体中等に電子を放出することが可能な電子源を提供する。
効率的に電子を放出することができる電子源を用いた電子線照射装置を提供する。
効率的な電子放出を実現する電子源の製造方法を提供する。
効果
電子放出面の面積が広くできるので、電子源のサイズに対して電子放出効率がよくなる。また、電子源の電子放出面の面積を広くできる一方、それ以外のモールド等の面積を最小限にできる。
技術概要
第１の電極と、絶縁膜からなる電子加速層と、第２の電極とが積層された構造を備える電子源であって、
表面が電子放出面を構成する前記第２の電極は、グラフェン膜又はグラファイト膜であり、
前記第１の電極及び前記第２の電極の一部又は全部が、曲面を有し、前記電子放出面が曲面であることを特徴とする電子源。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
