適用製品
ナノインプリント用樹脂組成物、ナノインプリント基板、及びナノインプリント基板の製造方法
目的
ナノインプリント用樹脂組成物、ナノインプリント基板、及びナノインプリント基板の製造方法を提供する。
効果
本発明のナノインプリント用樹脂の層を、基板とモールドのパターンを転写する被転写樹脂の間に設けてナノインプリントすることで、基板及び被転写樹脂の種類を問わずモールドを剥離する際に基板から被転写樹脂が剥離することを防止できる。
また、本発明のナノインプリント用樹脂を用いることで、モールドを剥離する際の温度が高くても精度よくモールドのパターンを被転写樹脂に転写することができるので、熱ナノインプリントのスループットを向上することができる。
技術概要
式（１）で表される樹脂を含む、基板とモールドが転写される被転写樹脂層との間に用いられるナノインプリント用樹脂組成物。
（式中、Ｒ↓1〜Ｒ↓5は、それぞれ独立に−Ｈ又は−ＯＨを表しＲ↓1〜Ｒ↓5の少なくとも１つは−ＯＨである。Ｒ↓6は炭素数１〜２０の直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、又は炭素数７〜２０のアラルキル基を表す。Ｘは、アミド又はエステルを表す。Ｙは、アミド又はエステルを表すが、含まれていなくてもよい。ｐは１〜１０の整数を表す。ｍ及びｎは１以上の整数である。）
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
